




大宗特气供气系统主要针对---量产的8-12英寸(1英寸=25.4毫米) ---规模集成电路厂(气体种类包括sih4、n2o、2、 c2f6、 nh3等),100mw以上的太阳能电池生产线(气体种类包括nh3),发光二极管的磊晶工序线(气体种类包括nh3)、5代以上液晶显示器工厂(气体种类包括4、3、nf3)、光纤(气体种类包括sicl4)、硅材料外延生产线(气体种类包括hcl)等行业。它们的投资规模---,高纯供气多少钱,采用1的工艺制程设备,用气需求量大,对稳定和不间---应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。
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指气瓶至仪器终端之间连接管线,一般有气体切换装置-减压装置-阀门-管线-过滤器-报警器-终端箱-调节阀等部分组成,输送气体为实验室仪器(色谱、原子吸收等)用气、高纯气体。
使用的气瓶和备用气瓶之间有一个半自动调节阀来控制。所有气体管路都是高的、完全退火、无缝不锈钢ss-316l。所有氧气管路都需完全清理干净,使其适合氧气使用。气体管路需要有安全压力释放阀门、压力调节阀门、压力表来指示气体压力。
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1、高压波纹软管 :外表不锈钢金属网内衬ptfe材质,长度1米以上,通径大于6mm。一端符合标准钢瓶的连接型号,另一端连接自动切换系统。承受大于3000psi。其特性为:洁净光亮、柔软、防腐。
2、低压报警器 :低压报警器多触点可模拟数据输出型,报警器可蜂鸣闪光同时显示报警气体的名称。防爆接线、信号模拟和自动切换系统汇流排相匹配。
3、减压阀 :316l不锈钢材质。一级减压阀进气压力0-200bar,出气压力0-16bar;二级减压阀进气压力0-16bar,出气压力0-6bar。进出口接口1/4” fnpt螺纹,压力表接口1/4” mnpt螺纹。

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