真空检漏的方法很多,---质谱检漏仪的使用---提升了检漏工作效率。
漏孔是指真空器壁上存在的形状不定、极其微小的空洞或间隙。---通过其进入真空系统或容器中;
漏率(漏气速率):是指单位时间内通过漏孔或间隙流入到真空系统或容器的气体量;
1小可检漏率:是指采用某种检漏方法或仪器可能检测出来的1小漏率;
检漏灵敏度:也叫有效灵敏度,指检漏仪器在1佳工作状态下能检出的1小漏率;
反应时间:也称响应时间,是指从检漏方法开始实施(如喷射示漏气体)到指示方法或仪器指示值上升到其漏孔1大泄漏率的63%时所需要的时间;
消除时间:是指从检漏方法停止(如停止喷吹示漏气体)到指示方法或仪器指示值下降到漏孔泄漏率的37%时所需的时间;
漏孔堵塞现象:指由于真空检漏作业操作不当导致尘埃或液体堵塞漏孔,检漏时似乎不漏气,但一经排气就会出现漏气的一种现象。
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针对过去使用中存在的问题,现代试验室对载气的使用环境进行了改革,即 “集中供气系统”,即将使用气体(以下简称载气)集中贮存,然后通过压差的原理将气体经过金属或其他材质管路送至用气点。其优点主要有以下几点:
1、首先解决气瓶的放置问题。气瓶间的位置如果可能尽量位于与试验室相对独立的房间,高纯供气价格,如果与试验室在同一大楼内,则气瓶间的位置要尽量位于人1流较少并且独立的房间,这种方式可使气瓶与工作人员及仪器完全隔离,即使有害气体有泄漏,也不会发生直接伤害。
2、其次气体混合的问题。将所有载气气瓶根据气体性质分别集中在一个气瓶间中与助燃气体分开存贮。
3、再次是解决气瓶压力的问题。每种气体可以将多瓶气体并联然后通过一个出口统一减压后运送气体至使用点。因为气瓶间是相对独立的,整个气路系统压力1大的地方也是气瓶出口处,因此这种方式将气瓶压力可能发生的危险缩小至气瓶间内,可对人体及仪器的伤害可降到1低。
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大宗特气供气系统主要针对---量产的8-12英寸(1英寸=25.4毫米) ---规模集成电路厂(气体种类包括sih4、n2o、2、 c2f6、 nh3等),100mw以上的太阳能电池生产线(气体种类包括nh3),发光二极管的磊晶工序线(气体种类包括nh3)、5代以上液晶显示器工厂(气体种类包括4、3、nf3)、光纤(气体种类包括sicl4)、硅材料外延生产线(气体种类包括hcl)等行业。它们的投资规模---,采用1---的工艺制程设备,用气需求量大,对稳定和不间---应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。
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