要承认漏气究竟的虚漏仍是实漏，因为工件资料加热后都会在不同程度上发生气体，有也许误以为是从外部流进的气体，这即是虚漏，要扫除这种状况。
第二，测验好真空室的气体密封功能，---气密功能符合要求。
第三，查看漏孔的巨细，形状、方位，漏气的速度，制备出可处理方案并施行。
第四，断定检查仪器的1小可检漏率和检漏灵敏性，以1---的检查出漏气状况，防止一些漏孔被疏忽，进步检漏的准确性。
第五，掌握检漏仪器的反应时刻和消除时刻，把时刻掌握好，---检漏仪器作业---，时刻少了，检漏作用必定差，时刻长了，糟蹋检漏气体和人工电费。
第六，还要防止漏孔阻塞，有时因为操作失误，检漏过程中，一些尘埃或液体等把漏孔阻塞了，以为在该方位没有漏孔，但当这些阻塞物因为内外压强区别进步或别的缘由使漏孔不堵了，那漏气仍是存在的。
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真空镀膜工艺中的真空系统也并非单一的真空泵，而是为了获得镀膜工艺中所必须的真空度，就需要将不同的泵进行组合使用。一般而言，该组合方式为机械泵、油扩散泵、无油泵组（分子泵、冷凝泵、钛扩散吸附泵）、管道阀门冷阱、真空室、冷却系统和真空测量。真空泵油雾过滤器主要用在旋片式机械泵上面，降低排气对空气产生的污染，在机械泵前也有---安装空滤，防止空气中的杂质与粉尘进入泵内污染泵油或者造成零部件的磨损。
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