真空镀膜工艺中的真空系统也并非单一的真空泵，而是为了获得镀膜工艺中所必须的真空度，就需要将不同的泵进行组合使用。一般而言，该组合方式为机械泵、油扩散泵、无油泵组（分子泵、冷凝泵、钛扩散吸附泵）、管道阀门冷阱、真空室、冷却系统和真空测量。真空泵油雾过滤器主要用在旋片式机械泵上面，降低排气对空气产生的污染，在机械泵前也有---安装空滤，防止空气中的杂质与粉尘进入泵内污染泵油或者造成零部件的磨损。
真空镀膜机是目前制作真空条件应用为广泛的真空设备，一般用真空室、真空机组、电气控制柜三大部分组成
真空镀膜系统优点：蒸发镀膜与手套箱组合，实现蒸镀、封装、测试等工艺全封闭制作，使整个薄膜生长和器件制备过程高度集成在一个完整的可控环境氛围的系统中，消除有机大面积电路制备过程中---环境中不稳定因素影响，保障了、大面积有机光电器件和电路的制备。
是否需要配置低温捕集器polycold，低温捕集器可以说是一种锦上添花的设备，它能够---提高抽气的速度，将真空室内的可凝性气体吸附在冷盘管上，净化真空室内的气氛，使膜层---，在炎热潮湿的夏季，低温捕集器的使用无疑在很大程度上，提高了生产效率。
冷却水循环系统，镀膜机需要配置冷却水循环系统，冷却水好使用去离子水，真空镀膜，对于防腐蚀有很大的作用，---是真空室的焊道，一些容易生锈的部件等都有---的抑制作用，可以在去离子水中添加一些防腐剂，也可以防腐蚀。
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