一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。厚度均匀性主要取决于：
1、基片材料与靶材的晶格匹配程度
2、基片表面温度
3、蒸发功率，速率
4. 真空度
5. 镀膜时间，厚度大小
组分均匀性：蒸发镀膜组分均匀性不是很容易---，具体可以调控的因素同上，但是由于原理所限，真空镀膜厂家，对于非单一组分镀膜，蒸发镀膜的组分均匀性不好。
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抽真空系统，目前基本是两种，一种是扩散泵系统，一种是分子泵系统，分子泵系统属于清洁抽气系统，没有扩散泵的返油现象，抽速也相对比较稳定，而且比较省电，电费的支出是镀膜企业生产运营成本中很大的一环。对于泵系统的定期维护是很重要的，---是润滑油的定期更换，注意油品牌号的选择，选择错误很容易损坏真空泵。
设备稳定性一定要好，选用的配件一定要---，镀膜机本身是一个复杂的系统，包括真空，自动化，机械等多个系统，任何一个部件的不---，都会造成系统的不稳定，会给生产带来不便，所以，一台稳定的设备，要---选用的每一个部件都是---的，很多人在购买镀膜机时，很自然的会比较，一台100万的镀膜机和一台200万的镀膜机在基本配置上可能不会有非常大的区别，可是正是对一些微小的细节的掌握，才成就了一台性能稳定的镀膜机。
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