机械传动部分
涂层要求周边必须厚度均匀一致,因此,在涂层过程中须有三个转动量才能满足要求。即在要求大工件台转动(i)的同时,小的工件承载台也转动( ii),并且工件本身还能同时自转(iii)。在机械设计上,一般是在大工件转盘底部中央为一大的主动齿轮,周围是一些小的星行轮与之啮合,如果要实现产品自转的话,一般用拨叉拨动工件自转。
真空室
涂层设备主要有连续涂层生产线及单室涂层机两种形式,不锈钢材料制造、弧焊接、表面进行化学抛光处理,真空室组件上焊有各种规格的法兰接口。
真空获得部分
在真空技术中,真空获得部分是重要组成部分。真空的获得不是一种真空设备和方法所能达到的,必须将几种泵联合使用,如机械泵、罗茨泵、分子泵系统等。
真空测量部分
真空系统的真空测量部分,就是要对真空室内的压强进行测量。像真空泵一样,没有一种真空计能测量整个真空范围,人们于是按不同的原理和要求制成了许多种类的真空计。如热偶计,电离计,皮拉尼计等。
电源供给部分
靶电源主要有直流电源、中频电源、脉冲电源、射频电源(rf),常见的电源厂商有ae,真空镀膜价格,adl,霍廷格等。
真空镀膜行业由于其镀膜工艺,需要抽真空,因此都连接了真空系统,真空泵因此大量应用于真空镀膜行业,真空泵过滤器也具有大量需求。
真空镀膜过程中,使用的真空度一般要求在10的负3次方上下,真空度是真空镀膜时务必严格管理的指标值之一,它对镀膜产品的颜色、耐磨性能、坚固度有非常重要的关联。
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