




电子工业是当今推动科技发展的---产业,由于所用气体的品种多、要求高,为有别于其它领域应用的气体,人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体,它是当今兴起的高技术含量、高投入、高附加值的---产业。电子行业常用的特气超过三十余种,按危险性质可分为不燃气体、可燃气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体等。按照物理形态可分为压缩气体、液化气体和低温气体。
特种气体的应用领域主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器、光纤生产四大领域,其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,其中常用的有20~30种。
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持续和及时。集中供气系统采用手动、半自动或全自动切换系统,平时每个供气源为一开一备状态,可根据仪器工作条件对局部或整体气体压力、流量进行调节,能---仪器用气的流量和压力的稳定性、持续性,也能---量值传递不发生变化。
扩展性灵活。集中供气管道上可预留接气点以及能够扩展的点,并安装控制开关或堵头,方便扩展。所有用气的仪器前端均装控制阀。因此,可以在不影响其他仪器正常工作的情况下,扩展新的用气端点。
实验室集中供气系统比单独钢瓶供气模式有着较多的优势,越来越多的实验室建设者、---、管理者对实验室集中供气系统的使用已形成共识,采用集中供气作为实验室供气模式的主流设计方案得到广泛---。实验室集中供气的设计应符合相关标准和规程的要求,---实验室供气的稳定性、持续性和安全性。
随着信息技术的快速发展,高纯供气系统,信息化在实验中心安全领域得到广泛应用。首先购置智能化门禁系统和中央集成的监控系统,对实验中心安全实行全过程监控管理; 其次以生物学虚拟实验教学中心为依托,大力加强虚拟实验教学资源建设,以虚拟实验代替涉及高危或环境、高成本、高消耗的实验项目,既体现了安全的绿色理念,又提高了安全的信息化水平。

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