陕西高纯供气

电子特气管道系统---检漏方法

特气系统气体管道---检漏的顺序宜采用内向检漏法、阀座检漏法、外向检漏法。

1、内向检漏法(喷---法)采用管道内部抽真空，外部喷---气的方法检漏，测试管路系统的泄漏率。

2、阀座检漏法采用阀门上游充---气，下游抽真空的方法检漏，测试管路系统的泄漏率。

3、外向检漏法(吸法)应采用管路内部充---气或---氮混合气，高纯供气，外部应采用吸检查漏点的方法检漏，测试管路系统的泄漏率。

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电子特气管道系统---检漏检测规定

1、---检漏仪表应采用质谱型---检测仪，其检测精度不得低于1*10-10mbar*l/s。

2、特气系统，内向测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-9mbar*l/s;

3、阀座测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s;

4、外向测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s。

---检漏发现的泄漏点经修补后，应重新经过气密性试验，合格后再按规定进行---检漏。所有可能泄漏点应用塑料袋进行隔离。系统测试完毕，应充入高纯氮气，并进行吹扫。测试完毕后，应提交测试报告。

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