稳压效果好。集中供气可采用二级减压或多级减压方式获得较好的稳压效果。例如，系统二级减压后，加上仪器内部的调压装置，可以说是三级稳压，气源在一级减压后，主管路上保持较高压力，便于远距离管道输送，在仪器前端采用二级低压减压阀，将压力调整到仪器工作范围内，再进入仪器内部的压力调整后，进入仪器的气体能够---达到仪器使用要求。
大宗特气供气系统主要针对---量产的8-12英寸（1英寸=25.4毫米） ---规模集成电路厂（气体种类包括sih4、n2o、2、 c2f6、 nh3等），100mw以上的太阳能电池生产线（气体种类包括nh3），发光二极管的磊晶工序线（气体种类包括nh3）、5代以上液晶显示器工厂（气体种类包括4、3、nf3）、光纤（气体种类包括sicl4）、硅材料外延生产线（气体种类包括hcl）等行业。它们的投资规模---，采用1的工艺制程设备，用气需求量大，对稳定和不间---应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。
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实验室常用气体为氢气、压缩空气和氮气。有条件的应远离工作点设计具有防爆性能的气体存放室，没有条件的需设置带有全自动报警功能的气瓶安全柜存放。由气瓶室引入的气路，主要的控制阀门和减压阀门都安装在实验室外。实验室气体管路主要材质为不锈钢，安装在---下方，沿着墙走，这样便于检查和维修。此外，中央试验台气体管路的引入通过服务柱;所有的气体管路在工作台上有合适的控制阀门和相应的取气口，高纯供气系统，便于操作;所有气体管路的连接采用无缝焊接。压缩空气气体在管路上有个过虑杂质和水分的净化装置，排气管路不能并在一 起，盘管由不锈钢材料制成，有足够的韧性。减压阀要有标示，标明压力释放级别。所有阀门、调节装置、压力表都由高的不锈钢制成，所 有气体管路有合适的接地保护措施。
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