




大宗特气供气系统主要针对---量产的8-12英寸(1英寸=25.4毫米) ---规模集成电路厂(气体种类包括sih4、n2o、2、 c2f6、 nh3等),高纯供气系统,100mw以上的太阳能电池生产线(气体种类包括nh3),发光二极管的磊晶工序线(气体种类包括nh3)、5代以上液晶显示器工厂(气体种类包括4、3、nf3)、光纤(气体种类包括sicl4)、硅材料外延生产线(气体种类包括hcl)等行业。它们的投资规模---,采用1的工艺制程设备,用气需求量大,对稳定和不间---应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。
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实验室一些仪器或设备的工作都需要各种各样的气体供应,通常使用气体的种类有高纯氧气、氮气; 气、氢气、---气; 、、---、,还有混合气体等甚至还有些设备还会用到有毒有害气体。有些气体用于仪器设备的驱动控制,如压缩空气。实验室供气的方式有两种,一种是传统的独立钢瓶分散供气模式,这种供气模式为每台仪器设备单独配置气体钢瓶,分别满足每台仪器设备的使用。另一种模式为集中供气模式,该方式以储气罐、杜瓦瓶、气体发生器等作为气源,配置气体发生系统或自动切换或手动切换等系统,实现气体的不间---应,通过耐压不锈钢管道将气体输送到用气端,每个端口的压力和流量可以按照仪器的要求进行单独控制,满足各种仪器设备的使用要求。

1、保持气体纯度
2、不间断气体供应:系统可以以手动方式和自动方式在气瓶之间进行切换,---气体连续供应
3、低压警示:当气压低于警报,报警装置可自动启动报警
4、气体压力稳定:系统采用两级减压方式供气,可得到非常稳定的压力
5、率:通过供气控制系统,可充分使用气瓶中的气体,减少残气余量,降低用气成本
6、操作简便:所有气瓶存放在同一位置,减少搬运安装的操作,节约时间和成本费用
7、无气瓶在实验室:可提高安全性、提高---、节省实验室操作空间
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