




在oled显示面板的制造过程中,需要在玻璃基板上进行有机膜层的真空蒸镀,该工作步骤需要在真空蒸镀机内来完成。因此,提供一种手套箱蒸镀一体机,本系统由真空镀膜系统和真空手套箱系统集成而成,可在高真空蒸镀腔室中完成薄膜蒸镀,并在手套箱高纯惰性气体氛围下进行样品的存放、制备以及蒸镀后样品的检测。
是否需要配置低温捕集器polycold,低温捕集器可以说是一种锦上添花的设备,它能够---提高抽气的速度,将真空室内的可凝性气体吸附在冷盘管上,净化真空室内的气氛,使膜层---,在炎热潮湿的夏季,低温捕集器的使用无疑在很大程度上,提高了生产效率。
冷却水循环系统,镀膜机需要配置冷却水循环系统,冷却水好使用去离子水,对于防腐蚀有很大的作用,---是真空室的焊道,一些容易生锈的部件等都有---的抑制作用,可以在去离子水中添加一些防腐剂,也可以防腐蚀。

真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,真空镀膜生产厂家,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。
真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
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