




供气系统材料选择的基本原则是: 一是不宜用非金属材料,二是材料不吸附气体、不产生气体,三是不产生粒子。一般气体管道宜采用无缝钢管,当输送气体的纯度***99.99%时,管道宜采用不锈钢管、铜管或无缝钢管; 管道与设备的连接段宜采用金属管道,如选用非金属软管,宜采用聚四氟乙烯管、聚管等工程塑料管,不应采用乳胶管;氢气和氧气管道使用的部件、仪表应是该介质的产品,不得使用替代品。其它部件的选择应给出设计建议,如输送阀门和氧接触部分应采用非燃烧材料,其密封圈应使用有色金属、不锈钢、镍基合金等材料; 管道接口法兰垫片的应根据管内输送的气体确定; 管道固定件( 管夹) 应采用耐高温的金属材料,且坚固、轻巧、---。

随着微电子工业的发展,---规模集成电路制造的硅片尺寸越做越大,要求半导体制造工艺中的气体品质相应越来越高,对气体中杂质和露1点要求---严格,需要达到ppb、ppt级,尘埃粒径求控制小于0.1~0.05m的微粒,因此对高纯气体的输送管路系统提出了非常高的要求 。
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稳压效果好。集中供气可采用二级减压或多级减压方式获得较好的稳压效果。例如,系统二级减压后,加上仪器内部的调压装置,高纯供气报价,可以说是三级稳压,气源在一级减压后,主管路上保持较高压力,便于远距离管道输送,在仪器前端采用二级低压减压阀,将压力调整到仪器工作范围内,再进入仪器内部的压力调整后,进入仪器的气体能够---达到仪器使用要求。
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