真空镀膜哪里有

真空镀膜设备真空泵的选择

正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。另外，有的真空泵不能在---压下工作，需要预真空;有的真空泵出口压强低于---压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：2bv系列水环真空泵工作压强范围760mmhg~25mmhg(绝压)，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化(详细变化情况参照泵的性能曲线)，其稳定的工作压强范围为760~60mmhg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜，而不能让它在25~30mmhg下长期工作。

真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。

真空泵的工作压强应该满足真空设备的---真空及工作压强要求。如：某真空干燥工艺要求10mmhg的工作真空度，选用的真空泵的---真空度至少要2mmhg，1好能达到1mmhg。通常选择泵的---真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。

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真空镀膜系统

电子束蒸发源蒸镀法

将蒸发材料放入水坩锅中，直接利用电子束加热，使蒸发材料气化蒸发后凝结在基板表面成膜，是真空蒸发镀膜技术中的一种重要的加热方法和发展方向。电子束蒸发克服了一般电阻加热蒸发的许多缺点，---适合制作熔点薄膜材料和高纯薄膜材料。

依靠电子束轰击蒸发的真空蒸镀技术，根据电子束蒸发源的形式不同，又可分为环形，直，真空镀膜哪里有，e型和空心阴极电子等几种。

环形是由环形的阴极来发射电子束，经---和偏转后打在坩锅内使金属材料蒸发。它的结构较简单，但是功率和效率都不高，基本上只是一种实验室用的设备，目前在生产型的装置中已经不再使用。

常见的真空镀膜材料

氧化物一氧化硅sio，二氧化硅sio2，二氧化钛tio2，二氧化锆zro2，二氧化铪hfo2，一氧化钛tio，五氧化三钛ti3o5，五氧化二铌nb2o5，五氧化二钽ta2o5，氧化钇y2o3，氧化锌zno等高纯氧化物镀膜材料。

其它化合物---锌zns，---znse，氮化钛tin，碳化硅sic，钛酸---latio3，钛酸钡batio3，钛酸---srtio3，钛酸镨prtio3，硫1化镉cds等真空镀膜材料。

金属镀膜材料高纯铝al，高纯铜cu，高纯钛ti，高纯硅si，高纯金au，高纯银ag，高纯铟in，高纯镁mg，高纯锌zn，高纯铂pt，高纯锗ge，高纯镍ni，高纯金au，金锗合金auge，金镍合金auni，镍铬合金nicr，钛铝合金tial，锌铝合金znal，铝硅合金alsi等金属镀膜材料。　

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