




1、不管打开内门还是外门,都必须---门两边的气压基本平衡,否则,要么打不开,要么发生“气爆”现象。同样,在对箱体内抽气与充气时,也必须---三通阀处于打开状态(即---手套内外的气压相等),否则,手套会膨胀爆裂。
2、如箱体出现漏气,应首先检查过渡室门是否关紧和手套口是否破损。如还有漏气请检查真空表座、阀门及两个门上的“o”型圈及真空橡皮。过渡室门与手套口门上的“o”型圈要定期更换(根据用户的使用频率而定)。
3、对系统抽气时,请缓缓打开阀门,并随时注意手套的变化,如出现膨胀,应减慢抽气速度,如仍不能解决问题,应停止抽气,如手套发生爆裂,检查三通阀是否打开。
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oled器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极,薄膜的关系到器件和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟,加热蒸发舟蒸镀有机 材料;在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟,金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作,电极材料有mg/ag、mg:ag/ag、li/al、 lif /al等,通常是使用低功函数的活泼金属。ito玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上,其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案,并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。
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