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真空镀膜机的详细结构

高真空镀膜机，镀膜机是目前制作真空条件应用为广泛的设备。其相关组成及各部件：机械泵、增压泵、油扩散泵、冷凝泵、真空测量系统.

一、真空主体——真空腔

根据加工产品要求的各异，真空腔的大小也不一样，目前应用的有直径1.3m、0.9m、1.5m、1.8m等，腔体由不锈钢材料制作，要求不生锈、坚实等，真空腔各部分有连接阀，用来连接各抽气泵浦。

二、辅助抽气系统

此排气系统采用“扩散泵+机械泵＋罗茨泵＋低温冷阱＋polycold”组成

排气流程为：机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2pa左右的低真空状态，为扩散泵后继抽真空提供前提，之后当扩散泵抽真空腔的时候，机械泵又配合油扩散泵组成串联，真空镀膜多少钱，以这样的方式完成抽气动作。

排气系统为镀膜机真空系统的重要部分，宁夏回族自治真空镀膜，主要有由机械泵、增压泵（主要介绍罗茨泵）、油扩散泵三大部分组成。

机械泵：也叫前级泵，机械泵是应用广泛的一种低真空泵，它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积，使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空。

机械泵有很多种，常用的有滑阀式（此主要应用于大型设备）、活塞往复式、定片式和旋片式（此目前应用广泛，本文主要介绍）四种类型。

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真空镀膜系统

真空镀膜工艺中的真空系统也并非单一的真空泵，而是为了获得镀膜工艺中所必须的真空度，就需要将不同的泵进行组合使用。一般而言，该组合方式为机械泵、油扩散泵、无油泵组（分子泵、冷凝泵、钛扩散吸附泵）、管道阀门冷阱、真空室、冷却系统和真空测量。真空泵油雾过滤器主要用在旋片式机械泵上面，降低排气对空气产生的污染，在机械泵前也有---安装空滤，防止空气中的杂质与粉尘进入泵内污染泵油或者造成零部件的磨损。