广西壮族自治高纯供气公司

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    2023-12-5

张女士
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大宗特气供气系统介绍

大宗特气供气系统主要针对---量产的8-12英寸(1英寸=25.4毫米) ---规模集成电路厂(气体种类包括sih4、n2o、2、 c2f6、 nh3等),100mw以上的太阳能电池生产线(气体种类包括nh3),发光二极管的磊晶工序线(气体种类包括nh3)、5代以上液晶显示器工厂(气体种类包括4、3、nf3)、光纤(气体种类包括sicl4)、硅材料外延生产线(气体种类包括hcl)等行业。它们的投资规模---,采用1的工艺制程设备,用气需求量大,高纯供气公司,对稳定和不间---应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。

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电子特气管道系统---检漏检测规定

1、---检漏仪表应采用质谱型---检测仪,其检测精度不得低于1*10-10mbar*l/s。

2、特气系统,内向测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-9mbar*l/s;

3、阀座测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s;

4、外向测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s。

---检漏发现的泄漏点经修补后,应重新经过气密性试验,合格后再按规定进行---检漏。所有可能泄漏点应用塑料袋进行隔离。系统测试完毕,应充入高纯氮气,并进行吹扫。测试完毕后,应提交测试报告。

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试验室集中供气系统的特点

1、特点:试验室要求使用载气流量恒定、气体纯度高,为试验室选用的分析设备提供量值和压力稳定的气体。

2、经济性:建一个集中的气瓶间可以节省有限的试验室空间,更换气瓶时不需要切断气体,---气体的连续供应。使用者只需管理较少的气瓶,支付较少的气瓶租金,因为使用同一气体的所有使用点来自于同一个气源。此种供应方式终会减少运输费用,减少退还给气体公司的空瓶中的余气量,以及---的气瓶管理。

3、使用率:集中管道供应系统可以将气体出口放置在使用点处,这样的话可以更合理的设计工作场所。

4、安全性:---其储存和使用的安全性。保障分析测试人员在实验中免受有毒有害气体的---。

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