




净化则采用了---的净化材料。其特点有吸附---好,吸收杂质气体量大的特点,高纯度可达99.9999%以上。2.并安装了小于1μ的金属过滤器。---了气体粉末的要求。3.本装置的阀门采用---阀门公司的产品,---了产品的高纯度无渗透及性。4.设备中全部容器、管道、阀门均为不锈钢材质。5.设备中的主要控制仪表全部采用------产品。6.接头采用---的高纯接头,---了无渗透。

稳压效果好。集中供气可采用二级减压或多级减压方式获得较好的稳压效果。例如,系统二级减压后,加上仪器内部的调压装置,可以说是三级稳压,气源在一级减压后,主管路上保持较高压力,高纯供气生产厂家,便于远距离管道输送,在仪器前端采用二级低压减压阀,将压力调整到仪器工作范围内,再进入仪器内部的压力调整后,进入仪器的气体能够---达到仪器使用要求。
1、---检漏仪表应采用质谱型---检测仪,其检测精度不得低于1*10-10mbar*l/s。
2、特气系统,内向测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-9mbar*l/s;
3、阀座测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s;
4、外向测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s。
---检漏发现的泄漏点经修补后,应重新经过气密性试验,合格后再按规定进行---检漏。所有可能泄漏点应用塑料袋进行隔离。系统测试完毕,应充入高纯氮气,并进行吹扫。测试完毕后,应提交测试报告。
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