




随着微电子工业的发展,---规模集成电路制造的硅片尺寸越做越大,要求半导体制造工艺中的气体品质相应越来越高,对气体中杂质和露1点要求---严格,需要达到ppb、ppt级,尘埃粒径求控制小于0.1~0.05m的微粒,因此对高纯气体的输送管路系统提出了非常高的要求 。
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实验室供气管路系统工程主要是为试实验室选用的分析设备提供量值和压力稳定的标准气体,---其储存和使用的安全性。保障分析测试人员在实验中免受有毒有害气体的---。按照要求,将所用全部气体存放于储气间,并实现集中输送,组成中央供气系统。系统采用一拖一、一拖多、多拖一和多拖多的管道式输气方式,在一拖多时能够实现分段控制和在多拖一和多拖多时能够实现切换控制;并能够---标准气体流量、压力稳定和量值传递不发生变化,满足分析检测设备对使用气体的技术要求。
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实验室一些仪器或设备的工作都需要各种各样的气体供应,通常使用气体的种类有高纯氧气、氮气; 气、氢气、---气; 、、---、,还有混合气体等甚至还有些设备还会用到有毒有害气体。有些气体用于仪器设备的驱动控制,如压缩空气。实验室供气的方式有两种,一种是传统的独立钢瓶分散供气模式,这种供气模式为每台仪器设备单独配置气体钢瓶,分别满足每台仪器设备的使用。另一种模式为集中供气模式,该方式以储气罐、杜瓦瓶、气体发生器等作为气源,配置气体发生系统或自动切换或手动切换等系统,实现气体的不间---应,通过耐压不锈钢管道将气体输送到用气端,每个端口的压力和流量可以按照仪器的要求进行单独控制,满足各种仪器设备的使用要求。

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