




首先,应对特气的危害性进行分析,通过本质安全设计,消除安全---。根据行业规范,对特气房选址、安全间距、防火分区、房间通风、电气防爆等进行评估。管道设计应进行保压和---测漏,---系统密闭性。钢瓶和管道阀门应选用隔膜或波纹管密封阀门。管道系统应采用焊接系统,机械接头均应置于抽风罩内。排放气体应进行安全处理。气体输送设备具有紧急切断功能。操作应遵循标准操作规程。
其次,采用监测手段,预防事故发生。设置气体泄漏侦测器,监控气体泄漏。可燃性气体应设置高温或火焰侦测器。危险气体应设置过流开关。特气系统气柜应进行负压监测,防止抽风系统的失效。侦测系统应与报警和紧急切断连锁。系统还应进行远程监控。监控系统应设置不间断电源。
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1、保持气体纯度
2、不间断气体供应:系统可以以手动方式和自动方式在气瓶之间进行切换,---气体连续供应
3、低压警示:当气压低于警报,高纯供气哪里有,报警装置可自动启动报警
4、气体压力稳定:系统采用两级减压方式供气,可得到非常稳定的压力
5、率:通过供气控制系统,可充分使用气瓶中的气体,减少残气余量,降低用气成本
6、操作简便:所有气瓶存放在同一位置,减少搬运安装的操作,节约时间和成本费用
7、无气瓶在实验室:可提高安全性、提高---、节省实验室操作空间
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大宗特气供气系统主要针对---量产的8-12英寸(1英寸=25.4毫米) ---规模集成电路厂(气体种类包括sih4、n2o、2、 c2f6、 nh3等),100mw以上的太阳能电池生产线(气体种类包括nh3),发光二极管的磊晶工序线(气体种类包括nh3)、5代以上液晶显示器工厂(气体种类包括4、3、nf3)、光纤(气体种类包括sicl4)、硅材料外延生产线(气体种类包括hcl)等行业。它们的投资规模---,采用1---的工艺制程设备,用气需求量大,对稳定和不间---应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。
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