




大宗特气供气系统主要针对---量产的8-12英寸(1英寸=25.4毫米) ---规模集成电路厂(气体种类包括sih4、n2o、2、 c2f6、 nh3等),100mw以上的太阳能电池生产线(气体种类包括nh3),发光二极管的磊晶工序线(气体种类包括nh3)、5代以上液晶显示器工厂(气体种类包括4、3、nf3)、光纤(气体种类包括sicl4)、硅材料外延生产线(气体种类包括hcl)等行业。它们的投资规模---,采用1---的工艺制程设备,用气需求量大,对稳定和不间---应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。
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首先,应对特气的危害性进行分析,通过本质安全设计,消除安全---。根据行业规范,对特气房选址、安全间距、防火分区、房间通风、电气防爆等进行评估。管道设计应进行保压和---测漏,河南高纯供气,---系统密闭性。钢瓶和管道阀门应选用隔膜或波纹管密封阀门。管道系统应采用焊接系统,机械接头均应置于抽风罩内。排放气体应进行安全处理。气体输送设备具有紧急切断功能。操作应遵循标准操作规程。
其次,采用监测手段,预防事故发生。设置气体泄漏侦测器,高纯供气系统,监控气体泄漏。可燃性气体应设置高温或火焰侦测器。危险气体应设置过流开关。特气系统气柜应进行负压监测,高纯供气,防止抽风系统的失效。侦测系统应与报警和紧急切断连锁。系统还应进行远程监控。监控系统应设置不间断电源。
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由于特种气体产品的潜在危险性,如氧气遇油脂着火,气瓶倒下使阀门拆断引起飞瓶,惰性气体引起窒息等等。所以在气体使用、搬运及储存中应注意的一些安全事项。
气体钢瓶在运输和装卸过程中应轻装轻卸,严禁抛、滑、滚及剧烈碰撞。
使用气体前应按要求将合格的减压阀连接到气瓶上,并清洁连接软管。不同气体的气瓶使用时不要使用同一个减压阀。
不应在封闭空间内用惰性气体(如氮气、---等)进行实验分析、烧焊、低温冷藏、吹除等等。
烧焊时,应对气体及电气采取适当的保护措施。不要使用损坏的设备,如软管、电缆及焊等。
特种气体气瓶存放区应比较干燥,并有---通风,严禁明火和其它热源,严禁曝晒可燃气瓶或氧气瓶附近严禁---,气瓶不应接触到火花、火焰、热气及电路。
在储存、运输及使用杜瓦罐时不能使其卧倒,应永远使杜瓦罐保持直立状态。
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