一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。厚度均匀性主要取决于：
1、基片材料与靶材的晶格匹配程度
2、基片表面温度
3、蒸发功率，真空镀膜厂家，速率
4. 真空度
5. 镀膜时间，厚度大小
组分均匀性：蒸发镀膜组分均匀性不是很容易---，具体可以调控的因素同上，但是由于原理所限，对于非单一组分镀膜，蒸发镀膜的组分均匀性不好。
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抽真空系统，目前基本是两种，一种是扩散泵系统，一种是分子泵系统，分子泵系统属于清洁抽气系统，没有扩散泵的返油现象，抽速也相对比较稳定，而且比较省电，电费的支出是镀膜企业生产运营成本中很大的一环。对于泵系统的定期维护是很重要的，---是润滑油的定期更换，注意油品牌号的选择，选择错误很容易损坏真空泵。
ct(custamued workstation)系列镀膜机系我司非标定制产品，根据您的要求单独设计，满足您的特殊需要。
特点：1、按需开发，---。
2、整机采用柜式结构，密封性能好，防尘防水，安全。
3、磁控、热蒸发多种镀膜方式可选
4、可集成手套箱系统
5、可集成多种自动化应用
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