




正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。另外,有的真空泵不能在---压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于---压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:2bv系列水环真空泵工作压强范围760mmhg~25mmhg(绝压),在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化(详细变化情况参照泵的性能曲线),其稳定的工作压强范围为760~60mmhg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜,而不能让它在25~30mmhg下长期工作。
真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。
真空泵的工作压强应该满足真空设备的---真空及工作压强要求。如:某真空干燥工艺要求10mmhg的工作真空度,选用的真空泵的---真空度至少要2mmhg,1好能达到1mmhg。通常选择泵的---真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。
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真空镀膜技术是在真空条件下采用物理或者化学方法,使物体表面获取所需膜体,真空镀膜技术根据其采用方法的不同科分成蒸发镀、溅射镀、离子镀、束流沉积以及分子束外延等,这次分析的镀膜设备采用的是磁控溅射镀膜。
真空室是真空设备的一个主要组成部位,真空镀膜设备真空室设计主要考虑的就是密封性和---性,结构必须要合理,真空设备的材料生产都是在真空室内进行的,材料对真空度的影响要小,设计不能马虎,要注意一些问题。
使用磁控溅射的真空镀膜机一般采用的是圆筒主体结构,结构上要---快速抽空,因气袋会缓慢的放气,因此要避免出现隔离孔穴,真空系统上端会加装磁控溅射,为了使真空室和元件有足够的强度,---在外部和内部的作用力下不产生形状的变化,厚度需要足够。
焊接是真空室制造中的一道关键工序,---焊接之后的真空室不会产生漏气现象,须合理设计焊接结构,提高焊接,处在真空的内壁粗糙度要抛光使室外室内表面很光洁,须---注意的是需做好防止生锈的措施。
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设备稳定性一定要好,选用的配件一定要---,镀膜机本身是一个复杂的系统,包括真空,真空镀膜哪里有,自动化,机械等多个系统,任何一个部件的不---,都会造成系统的不稳定,会给生产带来不便,所以,一台稳定的设备,要---选用的每一个部件都是---的,很多人在购买镀膜机时,很自然的会比较,一台100万的镀膜机和一台200万的镀膜机在基本配置上可能不会有非常大的区别,可是正是对一些微小的细节的掌握,才成就了一台性能稳定的镀膜机。

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