高纯供气系统-高纯供气-北京艾明坷

电子特气管道系统---检漏检测规定

1、---检漏仪表应采用质谱型---检测仪，其检测精度不得低于1*10-10mbar*l/s。

2、特气系统，内向测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-9mbar*l/s;

3、阀座测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s;

4、外向测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s。

---检漏发现的泄漏点经修补后，高纯供气多少钱，应重新经过气密性试验，合格后再按规定进行---检漏。所有可能泄漏点应用塑料袋进行隔离。系统测试完毕，应充入高纯氮气，并进行吹扫。测试完毕后，应提交测试报告。

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高纯供气系统

1、净化剂则采用了---的净化材料。其特点有吸附---好，高纯供气，吸收杂质气体量大的特点，纯度可达99.9999%以上;

2、净化器采用特殊结构和装料方法，流速设计合理，高纯供气报价，气流分布均匀;

3、内外精拉管管路。采用进口卡套式球阀。了气体流经管路的再次污染，一次安装使用，真正做到零泄漏及---运行。

4、双式结构，开机后一组工作，另一组再生、备用，而且rz-ya-c系列半自动纯化装置工作和再生都自动进行，故能够连续供气，高纯供气系统，一台能顶单式的两台使用。

气体管路控制系统作用

主要由气源切换系统、管道系统、调压系统、用气点、监控及报警系统组成。对于一些易1燃易1爆气体，如氢气等，可能在设计和施工过程中稍有差异，必须加入气体回火防止器等安全控制装置。

阀门是在流体系统中，用来控制流体的方向、压力、流量的装置，是使配管和设备内的介质(液体、气体、粉末)流动或停止并能控制其流量的装置。阀门是管路流体输送系统中控制部件，用来改变通路断面和介质流动

方向，具有导流、截止、节流、止回、分流或溢流卸压等功能。

气体管路控制系统可以用于管理控制气体供应，包括流量，压力，开关等，同时带有泄漏报警1灯功能，能够有效保护用气安全。

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