高纯气体，通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氮，氢，---而言，通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体。而对于氧气，纯度为4个9即可称高纯氧；对于碳氢化合物，纯度为99.99%的即可认为是高纯气体。氧气是无色，无味，---，不燃的气体，是---，能助燃，它与可燃性气体按一定比例混合后容炸。压缩氧气与油脂接触，温度超过油脂燃点时可发生自燃，因此，高纯供气哪里有，在与氧气接触的地方，只能使用经过---的材料。
由于特种气体产品的潜在危险性，如氧气遇油脂着火，气瓶倒下使阀门拆断引起飞瓶，惰性气体引起窒息等等。所以在气体使用、搬运及储存中应注意的一些安全事项。
气体钢瓶在运输和装卸过程中应轻装轻卸，严禁抛、滑、滚及剧烈碰撞。
使用气体前应按要求将合格的减压阀连接到气瓶上，并清洁连接软管。不同气体的气瓶使用时不要使用同一个减压阀。
不应在封闭空间内用惰性气体（如氮气、---等）进行实验分析、烧焊、低温冷藏、吹除等等。
烧焊时，应对气体及电气采取适当的保护措施。不要使用损坏的设备，如软管、电缆及焊等。
特种气体气瓶存放区应比较干燥，并有---通风，严禁明火和其它热源，严禁曝晒可燃气瓶或氧气瓶附近严禁---，气瓶不应接触到火花、火焰、热气及电路。
在储存、运输及使用杜瓦罐时不能使其卧倒，应永远使杜瓦罐保持直立状态。
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真空检漏的方法很多，---质谱检漏仪的使用---提升了检漏工作效率。
漏孔是指真空器壁上存在的形状不定、极其微小的空洞或间隙。---通过其进入真空系统或容器中；
漏率（漏气速率）：是指单位时间内通过漏孔或间隙流入到真空系统或容器的气体量；
1小可检漏率：是指采用某种检漏方法或仪器可能检测出来的1小漏率；
检漏灵敏度：也叫有效灵敏度，指检漏仪器在1佳工作状态下能检出的1小漏率；
反应时间：也称响应时间，是指从检漏方法开始实施（如喷射示漏气体）到指示方法或仪器指示值上升到其漏孔1大泄漏率的63%时所需要的时间；
消除时间：是指从检漏方法停止（如停止喷吹示漏气体）到指示方法或仪器指示值下降到漏孔泄漏率的37%时所需的时间；
漏孔堵塞现象：指由于真空检漏作业操作不当导致尘埃或液体堵塞漏孔，检漏时似乎不漏气，但一经排气就会出现漏气的一种现象。
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