机械泵的目的是为了获得低真空，通过机械方法改变泵内吸气空腔的体积，使得被抽容器内的体积不断膨胀，从而获得粗真空，旋片式真空泵由转子、定子和旋片等结构构成，其中，定子在油箱中，油起到润滑的目的，挥发的油经由排气口排出，经过真空泵油雾过滤器过滤，油雾颗粒被过滤器，过滤后可实现再利用。镀膜工艺由多种不同的泵组合原因就是为了获得高真空，因此第二步就是油扩散泵，之所以要在油扩散泵前安装机械泵，是因为油扩散泵不能直接在---压下工作，需要一定的预备真空度。油扩散泵获得真空的方法主要是油的蒸汽压与气体分子的反扩散，为了防止油扩散泵返油就需要使用的泵以及有效的冷阱，大型镀膜机使用更有效的高真空组合。
真空镀膜机是目前制作真空条件应用为广泛的真空设备，一般用真空室、真空机组、电气控制柜三大部分组成，排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。本公司从事真空镀膜设备的研发与生产拥有经验丰富的技术团队及的售后服务队伍为您解决设备在使用过程中遇到的任何问题。
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真空室
涂层设备主要有连续涂层生产线及单室涂层机两种形式，不锈钢材料制造、弧焊接、表面进行化学抛光处理，真空室组件上焊有各种规格的法兰接口。
真空获得部分
在真空技术中，真空镀膜多少钱，真空获得部分是重要组成部分。真空的获得不是一种真空设备和方法所能达到的，必须将几种泵联合使用，如机械泵、罗茨泵、分子泵系统等。
真空测量部分
真空系统的真空测量部分，就是要对真空室内的压强进行测量。像真空泵一样，没有一种真空计能测量整个真空范围，人们于是按不同的原理和要求制成了许多种类的真空计。如热偶计，电离计，皮拉尼计等。
电源供给部分
靶电源主要有直流电源、中频电源、脉冲电源、射频电源(rf)，常见的电源厂商有ae，adl，霍廷格等。
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