1、---检漏仪表应采用质谱型---检测仪，其检测精度不得低于1*10-10mbar*l/s。
2、特气系统，内向测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-9mbar*l/s;
3、阀座测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s;
4、外向测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s。
---检漏发现的泄漏点经修补后，应重新经过气密性试验，合格后再按规定进行---检漏。所有可能泄漏点应用塑料袋进行隔离。系统测试完毕，应充入高纯氮气，并进行吹扫。测试完毕后，应提交测试报告。
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直接脱氧法。就是使用活性金属、催化剂与气中的氧气进行反应，高纯供气系统多少钱，---掉气中的氧气，从而达到脱氧的目的，经过分子筛吸收掉气中的水份，使气的含水量小于1ppm。
第ii种
是采用吸气剂。在一定温度下，吸气剂可吸收氮、氢、氧、、---、等气体经吸收处理后，气的纯度可达到6个九，这种工艺生产出来的高纯气体适用于各类仪器仪表适用要求。
第i种方法设备投资小，第ii种方法设备纯化纯度高但投资相对较大。
本公司生产的rz-ya-d系列全自动气纯化装置功能说明：
a、具有全自动功能，使用操作简单，开、停机只需按两个按钮，不需扭动任何阀门，这些工作都由plc程序自动进行；这还克服了手动和半自动机型因人为操作失误引起的气体不纯，因此纯气也稳定。
b、控制文本显示器采用合资品牌-昆仑通泰7吋液晶触摸屏，实时模拟显示工作流程状态和各种参数显示，并随时可以实现各参数的修正，---的方便工作人员的操作。
c、可根据用户需要配备在线分析仪，时时在线监测。
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