




一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。厚度均匀性主要取决于:
1、基片材料与靶材的晶格匹配程度
2、基片表面温度
3、蒸发功率,速率
4. 真空度
5. 镀膜时间,厚度大小
组分均匀性:蒸发镀膜组分均匀性不是很容易---,具体可以调控的因素同上,真空镀膜系统报价,但是由于原理所限,对于非单一组分镀膜,蒸发镀膜的组分均匀性不好。
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真空镀膜在日常生活中非常常见,就是一个真空系统也比较复杂,现在,我们一起去探索一下真空镀膜的设备秘密吧。
真空镀膜设备不是单一的设备,而是设备组,它是由真空系统、蒸发系统,真空镀膜系统,蒸发辅助系统,真空镀膜系统公司,加热系统,整机的电气与自动化控制系统共同构成,今天,我们主要讨论的是真空镀膜设备中的真空系统。真空泵油雾过滤器也被运用在真空系统当中,使得真空镀膜工艺排放无污染,节能。
真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。
真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,真空镀膜系统多少钱,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
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