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真空镀膜设备真空泵的选择

正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，真空镀膜系统哪里有，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。另外，有的真空泵不能在---压下工作，需要预真空;有的真空泵出口压强低于---压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：2bv系列水环真空泵工作压强范围760mmhg~25mmhg(绝压)，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化(详细变化情况参照泵的性能曲线)，其稳定的工作压强范围为760~60mmhg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜，而不能让它在25~30mmhg下长期工作。

真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。

真空泵的工作压强应该满足真空设备的---真空及工作压强要求。如：某真空干燥工艺要求10mmhg的工作真空度，选用的真空泵的---真空度至少要2mmhg，1好能达到1mmhg。通常选择泵的---真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。

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