半导体手套箱-手套箱-艾明坷

真空热蒸发镀膜工艺

oled器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的关系到器件和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，半导体手套箱，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有mg/ag、mg:ag/ag、li/al、 lif /al等，通常是使用低功函数的活泼金属。ito玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，实验室手套箱，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。

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手套箱的分类包含这三种

手套箱依照用途分为三类：

1、惰性气体手套操作箱;

2、阻隔手套箱;

3、厌1氧手套箱。

一、惰性气体手套操作箱按树立惰性气体氛围的机理不同也能够分为三类：

1、 真空手套箱：选用抽真空—充惰性气体的方法树立惰性气体氛围;

2、 循环净化手套箱：具有循环除氧除水除有机1溶剂的---自主净化功用的手套箱，是目前---的惰性气体手套操作箱;

3、 洗气手套箱：操作箱选用一边通入惰性气体一边排除气体的方法将箱体内的有害气体赶到手套箱外，这个过程俗称“洗气”，然后不断地下降箱体内水氧含量;

二、阻隔手套箱，带冰箱手套箱，是为了阻隔---对人体及特定物体的伤害。依照阻隔方法可分为二类：

1、粉尘阻隔手套箱：一般对粉尘类物质进行阻隔

2、负压阻隔手套箱：一般对有害气体选用负压阻隔

三、厌氧手套箱，是用来培育厌1氧菌，手套箱，并进行相关研讨的手套箱，多用于食品、---的厌1氧菌研讨。

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